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| Beispiel: Luftmassensensoren |
 Das aktuell größte Foundry-Geschäft bei der MEAS Deutschland GmbH sind die Strömungssensoren für die Automobilindustrie. Der Sensorchip besteht aus metallischen Heizern und temperaturabhängigen Widerständen, die eine Messbrücke bilden. Um störende Wärmeableitung in das Umgebungsmaterial zu minimieren, werden beide Elemente auf dünnen Silizium-Nitrid-Membranen aufgebracht.
Die MEAS Deutschland GmbH übernimmt die komplette Fertigung der Membran-Wafer, einschließlich der optischen und elektrischen Endkontrollen, sowie der Dokumentation nach ISO/TS 16949.
Unsere Kunden nutzen die Chips zur Luftstrommassenkontrolle und zur Gas-Detektion in allen Arten von Automotoren wie z.B. in Diesel- oder Wasserstoffmotoren.
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